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2025-10-21

線光譜共焦感測器 3D Line confocal

埃科線光譜共焦感測器系列,基於同軸式光譜共聚焦技術開發而成,提供高達40KHz掃描速度、最大測量視野10.2mm,X方向解析度可達1.875μm,Z方向重複精度可達50nm,具有高精度、高速度、多功能、無接觸線上檢測等優勢,為半導體、消費電子和動力電池等精密製造行業提供卓越檢測方案。

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